英国斯特拉思克莱德大学近期宣布开发 MicroLED 新型巨量转移技术,透过连续滚轮转移技术,可精准转移超 7.5 万颗 MicroLED,团队也对转移数量、良率开发自动量测系统。
团队指出,滚轮转移制程可实现 MicroLED 的巨量移转,一次转移中可转移一个 320x240 画素阵列,约 7.5 万颗以上的 MicroLED,相对位置精度达亚微米级 (Submicron),且能够保持画素阵列的几何结构,定位误差、设计偏差控制 1μm 以下。
另外,团队还采用简单光学显微镜的自动亚微米级精准计量系统,用来评估大规模数量的零件,同时还可以评估良率。
除了 MicroLED 巨量转移,该制程还可用于其他类型的设备,包括硅制程、PCB,同时也可在太阳能设备制造、药物输送系统、生物传感器和组织工程等生物医学应用中采用。
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